晶瑞電材高端KrF（248）光刻膠已完成中試已進入客戶測試階段

2021-12-17 11:11:27 來源：愛集微

近日，晶瑞電材在接受機構(gòu)調(diào)研時表示，公司高端 KrF(248)光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進入客戶測試階段。

目前 ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，已完成光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、臺階儀等設(shè)備購置，其中 ASML1900Gi 型光刻機設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。

據(jù)悉，晶瑞電材近期已購得 KrF 光刻機一臺，可用于 KrF 光刻膠的曝光測試，同時公司 KrF 光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。此前，公司已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g 線、i 線、ArF 等 4 臺光刻機，再加之此次購得的 KrF 光刻機，公司已經(jīng)到位 5 臺光刻機。

晶瑞電材指出，公司 3 萬噸電子級硫酸產(chǎn)線已于今年上半年順利通車，經(jīng)試生產(chǎn)調(diào)試，產(chǎn)品金屬雜質(zhì)含量低于 10ppt，達到 G5 級水平，品質(zhì)已達全球同行業(yè)第一梯隊水平，產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)可以履蓋目前全部先進集成電路技術(shù)節(jié)點的要求。目前，公司正在積極開展客戶論證測試，市場反應(yīng)良好。現(xiàn)有 3 萬噸硫酸項目的順利建設(shè)為二期 6 萬噸硫酸項目的順利實施提供了基礎(chǔ)和保障。二期 6 萬噸電子級硫酸項目已啟動，項目的建設(shè)期為 12 個月，當(dāng)前已取得環(huán)評審批。

新能源方面，晶瑞電材認(rèn)為，公司是一家微電子材料的平臺型高新技術(shù)企業(yè)，圍繞泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個方向，努力打造為集研發(fā)、生產(chǎn)、檢測、銷售、技術(shù)支持于一體的國際知名微電子化學(xué)品制造企業(yè)，公司鋰電池材料主要產(chǎn)品包括 NMP、SBR、CMCLi、PAA、電解液等。當(dāng)前公司鋰電池材料產(chǎn)品產(chǎn)銷兩旺，根據(jù)公司戰(zhàn)略發(fā)展規(guī)劃，為進一步推進公司產(chǎn)能布局，滿足市場迫切需求，鞏固行業(yè)領(lǐng)先地位，公司全資子公司晶瑞新能源擬使用自籌資金投資建設(shè)年產(chǎn) 5 萬噸 NMP 項目。

目前，晶瑞(湖北)微電子材料項目一期目前正在設(shè)備安裝調(diào)試階段。

受益于我國半導(dǎo)體材料行業(yè)國產(chǎn)替代進程提速，下游芯片廠商需求增長，當(dāng)前公司主導(dǎo)產(chǎn)品半導(dǎo)體級光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料等產(chǎn)銷兩旺，未來隨著公司 KrF 光刻膠測試完成并逐步量產(chǎn)、ArF 光刻膠研發(fā)成功并最終量產(chǎn)，以及公司南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放，有望成為公司新的利潤增長點。

未來，公司將持續(xù)發(fā)揮主營業(yè)務(wù)的優(yōu)勢，圍繞泛半導(dǎo)體和新能源材料方向，繼續(xù)通過內(nèi)生增長和外延并購，將公司打造成產(chǎn)品種類全、技術(shù)水平高，具有國際競爭力的微電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)。關(guān)于并購方向，公司依然圍繞主營業(yè)務(wù)開展。

關(guān)鍵詞：晶瑞電材高端KrF 光刻膠中試客戶測試階段